Capteur d'écoulement de la masse de gaz du principe ±1000SCCM Microbridge de transfert de chaleur d'AWM42300V

Description de produit :

Capteur d'écoulement de la masse de gaz du principe ±1000SCCM Microbridge de transfert de chaleur d'AWM42300V

Caractéristiques :

Capteur d'écoulement de la masse de gaz de la série AWM40000, unamplified (système mv), gamme d'écoulement/pression : ±1000 SCCM (1,0 SLPM) ; Type d'interface : Tubulure.

opération

Le principe du capteur d'écoulement de la masse de gaz de microbridge est transfert de chaleur. Le taux d'écoulement de la masse de gaz est guidé à travers la surface de l'élément de détection. La tension de sortie est proportionnelle à la masse d'air ou à tout autre gaz traversant l'admission et le débouché du paquet. Un logement particulièrement conçu de façon optimale dirige et commande le flux d'air par les éléments de détection microstructured. Le paquet est mécaniquement conçu pour être facilement monté sur une carte électronique.

Le capteur d'écoulement de la masse de gaz de microbridge contient une puce de silicone avancée basée sur la technologie avancée de microstructure. La puce emploie une couche mince et une structure adiabatique de pont avec un appareil de chauffage et un élément de détection de la température. La structure de pont peut répondre rapidement et avec sensibilité au flux d'air d'air ou à d'autres gaz traversant la puce. Les doubles éléments de détection des deux côtés de l'élément de chauffage central indiquent également la direction et le débit. La couche épaisse et la résistance laser-corrigées de film assurer à interchangeabilité cohérente de capteur au capteur à tout moment.

Les capteurs d'écoulement de la masse de gaz de Microbridge utilisent les résistances thermiques enveloppées en films de nitrure de silicium. Ces résistances sont suspendues, formant deux ponts au-dessus de la cavité de gravure à l'eau-forte de la puce de silicone. La puce est placée dans un canal de flux d'air de taille de *** pour fournir la réponse qu'on peut répéter d'écoulement. En gravant à l'eau-forte la cavité sous l'écoulement sentant le pont, l'appareil de chauffage et sentant la résistance peut réaliser l'isolement thermique efficace. La petite taille et la fonction thermique d'isolement du capteur d'écoulement de la masse de gaz de microbridge réaliser la réponse de vitesse maximale et la sensibilité élevée au flux d'air.

Les ponts de jumeau de Wheatstone commandent la mesure de flux d'air - on fournit le contrôle en circuit fermé d'appareil de chauffage et l'autre contient de doubles éléments de détection. Le circuit d'appareil de chauffage réduit la variation de sortie provoquée par des changements de température ambiante en fournissant un résultat proportionnel au taux d'écoulement de la masse. Ce circuit maintient la température de l'appareil de chauffage à une différence de la température constante au-dessus de la température ambiante (°C) 160, qui est déterminé par la mesure de résistance thermique sur la puce. La sortie du dispositif est proportionnelle à la tension d'alimentation et correspond également à la tension différentielle du montage en pont de Wheatstone.

Caractéristiques :