AGP4000 MEMS Affichage numérique de haute précision à cathode froide Vacuum Gauge composite Pirani Vacuum Gauge

AGP4000 MEMS Affichage numérique de haute précision à cathode froide Vacuum Gauge composite Pirani Vacuum Gauge

Utilisations:

• Fabrication de semi-conducteurs: Il est utilisé pour la surveillance précise de l'environnement sous vide dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, tels que le revêtement de semi-conducteurs.Un contrôle précis du degré de vide est crucial pour la qualité et les performances des produits semi-conducteurs, et AGP4000 peuvent fournir des données fiables sur le vide pour assurer la stabilité du processus.
• Champ aérospatial: dans les essais de composants aérospatiaux et autres scénarios, il est nécessaire de simuler différents environnements sous vide pour tester les performances des composants.L' AGP4000 peut réaliser une surveillance complète de faible vide à haut vide., fournissant un soutien important des données pour la recherche et le développement aérospatiaux et les essais.
• Recherche scientifique de précision: dans la recherche scientifique de précision, comme certaines expériences physiques et chimiques nécessitant un contrôle de l'environnement sous vide de haute précision,AGP4000 peut aider les chercheurs à obtenir des informations précises sur le degré de vide, assurant l'exactitude et la répétabilité des résultats expérimentaux.
• Applications dans les fours à vide: pour les fours à vide, différents degrés de vide sont requis à différents stades du processus.et coopérer avec le système de contrôle pour régler le degré de vide, afin d'assurer la qualité du traitement thermique des matériaux et la durée de vie du four.

Caractéristiques:

• Mesure à large portée et haute précision: il peut réaliser une surveillance précise à large portée, du vide bas au vide élevé (1 × 10 - 6 Pa ~ 1 × 105 Pa), couvrant une large plage de 6 ordres de grandeur,d'une épaisseur d'environ 0,8 mm, et une excellente stabilité à long terme, fournissant une base de données fiable pour les processus clés.
• Dual-technologie Collaboration intelligente: le système Pirani fonctionne tout au long du processus, et lorsque le degré de vide est < 10 Pa,le système de cathode froide est démarré automatiquement sans intervention manuelle, ce qui résout complètement le problème de la limitation de la portée des équipements traditionnels.
• Forte et durable: La conception de la cathode froide ne nécessite pas de filament chauffant, qui a une forte capacité anti - pollution, prolonge considérablement la durée de vie et réduit les coûts de maintenance.
• Vue en couleur réelle: Il est équipé d'un écran couleur TFT - LCD haute définition, qui peut afficher dynamiquement la valeur de pression en temps réel,et peut basculer entre trois unités (Pa/Torr/mbar) avec une touche, et affiche également la température, l'état de la communication et les marques d'allumage et d'arrêt haute tension (avertisseur à deux couleurs rouge/bleu), de sorte que les données sont claires en un coup d'œil.
• Sortie en double mode: il possède un signal analogique linéaire de 0 à 10 V, qui peut être directement connecté à des équipements industriels tels que des PLC et des enregistreurs, et prend en charge les formules de conversion logarithmique,en facilitant l'adaptation au systèmeEn même temps, il dispose d'un protocole Modbus RTU standard, qui réalise la communication RS485 via l'interface RJ45, prend en charge le réseautage multi-appareils,et est compatible avec les systèmes de contrôle industriels classiques, contribuant à la construction d'un réseau intelligent de surveillance du vide.
• Installation simple et fonctionnement fiable: il est équipé en standard d'une bride électro-polissée en acier inoxydable KF25.qui a une excellente étanchéité à l'air et permet l'installation dans n'importe quelle direction (une installation verticale est recommandée)Il est doté d'une alimentation à haute tension (15 à 30 V CC) et d'une consommation d'énergie de ≤ 6 W, ce qui lui permet de s'adapter à des environnements industriels difficiles.
• Calibrage intelligent et fonctionnement pratique: il a une conception d'interface basée sur un menu à trois niveaux, prend en charge le changement chinois et anglais, peut définir des paramètres et des unités de communication sur place,effectuer 0.1Pa/pression atmosphérique, et même restaurer les réglages d'usine en une seule touche, ce qui réduit considérablement le seuil de fonctionnement et de maintenance.