YJJ AGP4000H00 MEMS Calculeur de vide composite à cathode froide numérique de haute précision Calculeur de vide Pirani

Description du produit :

YJJ AGP4000H00 MEMS jauge à vide Composite à cathode froide numérique de haute précision jauge à vide Pirani

Caractéristiques:

I. Présentation du produit

Modèle : AGP4000H00, jauge à vide composite complète, jauge de conductivité thermique Pirani intégrée (mesure du vide atmosphérique à moyen) + jauge d'ionisation à cathode froide (mesure du vide poussé)

Commutation automatique bimode, pas besoin de coupler avec deux jauges à vide indépendantes. Sonde de mesure du vide intégrée en acier inoxydable, équipée d'un écran couleur TFT local. Prend également en charge la connexion de signal analogique/numérique au PLC, à l'écran tactile, à l'hôte de contrôle industriel.

Particularité : L'écran tactile Propiles AGP4000 est similaire à ce modèle de vacuomètre, mais il s'agit d'un produit complètement différent. Il ne faut pas confondre achat et branchement du matériel.

II. Paramètres de performance de base

1. Plage de mesure du vide (composite à double jauge)

Plage de mesure totale : 5 × 10⁻⁶ Pa ～ 1 × 10⁵ Pa (couvrant 6 ordres de grandeur, couvrant le pompage grossier, le vide moyen et le vide poussé tout au long du processus)

Plage de travail Pirani : 1 × 10⁵ Pa ～ 10 Pa (toujours activé tout au long du processus, surveillance du vide atmosphérique au vide moyen)

Seuil de démarrage automatique de la cathode froide : <10 Pa, démarre automatiquement la mesure d'ionisation pour le vide poussé en dessous de ce niveau de vide, pas besoin de commutation manuelle

Unités de mesure : Pa / mbar / Torr, trois unités peuvent être commutées à la fois, avec des interfaces chinoises et anglaises

2. Précision et stabilité

Erreur de répétabilité : lecture ≤ ± 5 %

Précision de mesure : ± 30 % de la lecture à pleine échelle

Vitesse de réponse : réponse Pirani de l’ordre de la milliseconde ; Démarrage rapide et stable à cathode froide à haute tension

Caractéristiques anti-pollution : la cathode froide n'a pas de filament de tungstène chauffé, ne sera pas brûlée par la vapeur d'huile ou la poussière de revêtement, a une durée de vie beaucoup plus longue que la jauge d'ionisation à cathode thermique

3. Spécifications de l'alimentation électrique

Tension d'alimentation : DC 15 ~ 30 V DC à large plage.

Consommation électrique globale : ≤6 W

Interface intégrée de communication/alimentation : alimentation intégrée RJ45 + RS485

Communication numérique : Modbus RTU, débit en bauds 4800/9600/19200/115200 réglable, prend en charge la mise en réseau multi-appareils (adresse 1~255)

Sortie analogique : sortie de tension logarithmique 0 ~ 10 V, peut être directement connectée aux enregistreurs, aux modules analogiques PLC

Quantité de commutation : 2 relais d'alarme programmables, peuvent définir un seuil de vide haut/bas pour relier les pompes, les vannes et les voyants d'alarme

4. Mécanique, Environnemental, Matériaux

Bride à vide : bride à dégagement rapide standard KF25, excellente étanchéité à l'air, prend en charge n'importe quelle installation en angle.

Matériau de contact de la cavité : acier inoxydable 304/316 électropoli, adapté aux systèmes de vide sans huile et légèrement lubrifiés à l'huile.

Plage de température de fonctionnement : 5 ℃ ~ 55 ℃

Plage de température de stockage : -20 ℃ ~ 70 ℃

Protection : étanchéité métallique de toute la machine, sonde résistante à la poussière et à une légère pollution par les hydrocarbures

Écran : écran couleur Micro TFT, affichage en temps réel de la valeur du vide, de la température interne, de l'état de la communication, voyants d'avertissement bicolores pour le vide poussé/faible

III. Principe de fonctionnement

Jauge Pirani (principe de conduction thermique)

Fil de résistance chauffante MEMS interne, les molécules de gaz absorbent la chaleur, plus la pression est élevée, plus la dissipation thermique est rapide, plus la température de résistance est basse ; le circuit collecte les changements de résistance et convertit le niveau de vide atmosphérique en 10 Pa, fonctionnant en continu tout au long du processus.

Jauge d'ionisation à cathode froide (décharge panoramique)

Lorsque le vide est inférieur à 10 Pa, il charge automatiquement une haute tension, l'ionisation du gaz génère un courant ionique ; plus le vide est élevé, plus le courant ionique est petit, mesurant ainsi la plage de vide poussé de 10 Pa ~ 10⁻⁶ Pa.

Le MCU intégré détermine automatiquement la plage de pression, bascule de manière transparente entre deux modes de mesure, produit la valeur du vide de manière uniforme, pas besoin d'équipement principal pour effectuer une commutation logique de plage.

IV. Avantages principaux

Une jauge unique couvre toute la plage du vide, remplaçant la solution traditionnelle à double sonde « Jauge Pirani + Jauge d'ionisation », réduisant ainsi le coût de l'équipement et l'espace d'installation ; Cathode froide sans filament, ne craignant pas l'impact atmosphérique ni la pollution du revêtement, nécessite peu d'entretien, adaptée à une production industrielle continue 24 heures sur 24 ;

Il est livré avec un écran couleur local, permettant la lecture sur site des valeurs de vide sans ordinateur supérieur, ce qui rend le débogage et la maintenance pratiques ;

Il dispose également de doubles sorties analogiques 0-10 V + numériques Modbus, compatibles avec les écrans tactiles Proflex, divers automates et systèmes d'acquisition de contrôle industriel ;

Large tension DC15 ~ 30 V, compatible avec les armoires d'équipement pour alimentation CC, forte compatibilité dans les sites industriels ;

La bride standard universelle KF25 peut correspondre directement aux pompes moléculaires, aux pompes mécaniques et aux pipelines standard des chambres à vide.

VII. Principaux scénarios d'application

1. Semi-conducteur, équipement de revêtement sous vide (application principale)

Pulvérisation magnétron, machines d'évaporation, revêtement optique, équipement de film conducteur ITO

Emballage de plaquettes, nettoyage au plasma, équipement de gravure, surveillance de l'ensemble du processus de pompage grossier → courbe de processus sous vide poussé

Détection de fuite dans la cavité sous vide, combinée à un équipement de détection de fuite à l'hélium pour déterminer le point de fuite

2. Équipement de laboratoire de recherche

Incubateurs anaérobies de cellules, armoires de séchage sous vide, fours de frittage à chaud

Enceintes de simulation climatique, bancs d'essais d'étanchéité à l'air, équipements d'essais de vieillissement sous vide des matériaux

Recherche sur des chambres expérimentales sous vide poussé, surveillance du vide des sources d'ions

3. Batterie au lithium, nouvel équipement de fabrication d'énergie

Cuisson sous vide par batterie au Lithium, chambre à vide d'injection, station de détection de fuite d'étanchéité à l'air des cellules

Système d'évaporation pour le démoussage électrolytique, équipement de revêtement sous vide par électrode

4. Aérospatiale, industrie des tests de précision

Chambres d'essai sous vide à haute et basse température pour composants aérospatiaux, équipement de simulation de l'environnement spatial des engins spatiaux

Instruments de précision, stations d'étalonnage sous vide de capteurs

5. Équipement de vide médical

Chambres médicales à pression négative, équipements de stérilisation sous vide stériles, machines de lyophilisation d'échantillons biologiques

Appareils respiratoires compagnons, contrôle de la liaison de pression sous vide (peut être combiné avec la liaison du capteur CO₂ ExplorIR-M-5)

6. Automatisation générale du vide industriel

Équipement d'adsorption sous vide à pression négative, machines d'emballage sous vide, contrôle de liaison de groupe de pompes à vide, démarrage et arrêt automatique de dépassement de limite de vide des pompes mécaniques, pompes moléculaires, vannes d'isolement.

VI. Solutions d'interface de support (compatibles avec vos matériaux existants)

Écran supérieur : écran tactile AGP4000 Proflex, lecture des valeurs de vide via Modbus RJ45, exécution de courbes, d'alarmes et de logique de processus automatique ;

Liaison gaz : associée au capteur CO₂ ExplorIR-M-5 et au capteur d'odeur ZP152, réalise une surveillance intégrée du vide dans la chambre + concentration de gaz ;

Machine médicale complète : combinée à l'hôte de surveillance de la sonde d'oxygène dans le sang DS100A, utilisée pour l'équipement intégré sous vide médical + signes de vie.

Caractéristiques: