YJJ AS200 MFC en acier inoxydable régulateur de débit de masse de gaz de haute précision

Description du produit:

YJJ AS200 MFC en acier inoxydable régulateur de débit de masse de gaz de haute précision

Caractéristiques:

Régulateur de débit de masse de gaz de la série AS200

Fournit un logiciel informatique haut de gamme basé sur le client

Le régulateur de débit de masse de gaz de la série AS200 convient à divers gaz conventionnels, améliorant ainsi la précision et la fiabilité des résultats de mesure du contrôle du débit de masse de gaz.La précision de répétabilité est jusqu'à 00,2% F.S.;

Le faible taux de fuite de 1x10-0 Pa·m3/sec He, bonne étanchéité à l'air, assurant la sécurité de la production; Il peut prendre en charge plusieurs sorties de signaux, y compris les signaux numériques, les signaux analogiques 1-5V,et signaux analogiques de 4 à 20 mA, pouvant utiliser une seule alimentation (+15~+28VDC), adaptée à différents scénarios de travail;Le protocole de communication ouvert standard permet aux clients de développer indépendamment des logiciels de contrôle et d'acquisitionEn même temps, le produit fournit également un puissant logiciel informatique supérieur gratuit basé sur le client, facilitant le débogage et le fonctionnement de l'utilisateur.

Les produits de la série AS200 sont développés par Aosong Electronics en utilisant une technologie MEMS avancée.Les technologies de base ont été adoptées pour assurer les performances élevéesIl s'agit d'un instrument de haute qualité avec une bonne stabilité, une grande précision, un faible taux de fuite et une haute résistance à la pression.

Le régulateur de débit de masse de gaz (MFC) de la série AS200 est principalement utilisé pour le contrôle et la mesure précis du débit de masse de gaz.AS200 joue un rôle important dans la recherche et la production dans divers domaines tels que la technologie des circuits intégrés à semi-conducteurs, les matériaux spéciaux, l'industrie chimique, l'industrie pétrolière, la médecine, la protection de l'environnement et le vide.comme l'épitaxie, diffusion, gravure au plasma, pulvérisation, implantation d'ions et divers équipements CVD; autres équipements industriels, tels que la fusion de fibres optiques, les dispositifs de micro-réaction,systèmes de mélange de gaz et de distribution de gaz, appareils de prélèvement de gaz, instruments de mesure capillaire, chromatographes gazeux et autres instruments d'analyse.

Régulateur de débit de masse de gaz

L'alimentation électrique: 15 à 24 V de courant continu (à un pôle)

Plage de mesure: 1 à 100, 2 à 20 3 à 300 SCCM/min

00,03 - 3, 0,05 - 5, 0,1 - 10, 0,2 - 20,

0.3 - 30, 0,5 - 50 SLM/min

Précision de répétabilité: ±0,2% de pleine échelle

Temps de réponse: 1 seconde

Environnement de fonctionnement: 5 à 45°C

Taille: 112,8 * 38 * 115 mm

Les spécifications: