YJJ AS200 MFC en acier inoxydable régulateur de débit de masse de gaz de haute précision

Description du produit :

Contrôleur de débit massique de gaz de haute précision en acier inoxydable YJJ AS200 MFC, débitmètre de gaz micro-gaz

Caractéristiques :

Contrôleur de débit massique de gaz série AS200

Fournit un puissant logiciel client gratuit pour ordinateur supérieur

Le contrôleur de débit massique de gaz de la série AS200 convient à divers gaz conventionnels, améliorant la précision et la fiabilité des résultats de mesure du contrôle du débit massique de gaz. La précision de répétabilité est jusqu'à 0,2 % F.S. ;

Le faible taux de fuite de 1x10-0 Pa·m3/sec He, la bonne étanchéité à l'air, assurant la sécurité de la production ; Il peut prendre en charge plusieurs sorties de signal, y compris les signaux numériques, les signaux analogiques 1-5 V et les signaux analogiques 4-20 mA, qui peuvent utiliser une seule alimentation (+15~+28 VCC), adaptés à différents scénarios de travail ; Le protocole de communication ouvert standard offre une commodité aux clients pour développer indépendamment des logiciels de contrôle et d'acquisition ; En même temps, le produit fournit également un puissant logiciel client gratuit pour ordinateur supérieur, facilitant le débogage et le fonctionnement par l'utilisateur.

Les produits de la série AS200 sont développés par Aosong Electronics en utilisant la technologie MEMS avancée. Dans de nombreux aspects tels que l'entraînement du capteur, le contrôle de la dérive zéro et le contrôle de la vanne, des technologies de base ont été adoptées pour assurer les hautes performances, la haute qualité et la haute fiabilité des produits. Il s'agit d'un instrument de haute qualité avec une bonne stabilité, une haute précision, un faible taux de fuite et une résistance à la haute pression.

Le contrôleur de débit massique de gaz (MFC) de la série AS200 est principalement utilisé pour le contrôle et la mesure précis du débit massique de gaz. L'AS200 joue un rôle important dans la recherche et la production dans divers domaines tels que la technologie des circuits intégrés à semi-conducteurs, les matériaux spéciaux, l'industrie chimique, l'industrie pétrolière, la médecine, la protection de l'environnement et le vide. Ses scénarios d'application typiques incluent : les équipements de processus de circuits intégrés, tels que l'épitaxie, la diffusion, la gravure au plasma, la pulvérisation cathodique, l'implantation ionique et divers équipements CVD ; d'autres équipements industriels, tels que la fusion de fibres optiques, les micro-dispositifs de réaction, les systèmes de mélange et de distribution de gaz, les dispositifs d'échantillonnage de gaz, les instruments de mesure capillaires, les chromatographes en phase gazeuse et autres instruments d'analyse.

Contrôleur de débit massique de gaz

Alimentation : 15 - 24 V CC (monopolaire)

Plage de mesure : 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/min

0,03 - 3, 0,05 - 5, 0,1 - 10, 0,2 - 20,

0,3 - 30, 0,5 - 50 SLM/min

Précision de répétabilité : ±0,2 % de la pleine échelle

Temps de réponse : 1 seconde

Environnement de fonctionnement : 5 - 45℃

Taille : 112,8 * 38 * 115 mm

Spécifications :