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Détails sur le produit:
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| Complet: | 100 SCCM | Alimentation: | +15 à +28 VDC (alimentation unique) |
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| Signal: | analogique 0 à 5 V ; prend en charge la communication numérique RS485 | Précision: | ±1 % FS ; Répétabilité : ±0,2 % FS |
| Mettre en évidence: | Contrôleur de débit massique de gaz pour la fabrication de semi-conducteurs,capteur de débit d'air médical avec garantie,AS200A008C100CJCC Contrôleur de débit |
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AS200A008C100CJCC Contrôleur de débit massique de gaz pour processus de fabrication de semi-conducteurs
Applications typiques
Traitement des semi-conducteurs, CVD, systèmes de distribution de gaz, contrôle de gaz de laboratoire, instruments analytiques, etc.
Spécification :
| Taux de fuite | 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (He) |
| Résistance à la pression | 3 MPa |
| Série de produits AS200 | Contrôleur de débit massique de gaz MEMS |
| A (Type de joint) | A = Joint en caoutchouc ; Signal : entrée/sortie analogique 0-5V |
| 008 (Code gaz) | 008 correspond au gaz spécifié |
| C (Unité de plage) | C = SCCM (centimètres cubes standard par minute) |
| 100 (Échelle complète) | 100 SCCM |
| CJCC | Suffixe pour la combinaison de l'interface, du type de vanne, de l'électrique et du raccord |
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Personne à contacter: Xu
Téléphone: 86+13352990255