Measuring Range:0 to 100%
Working Pressure:±100 mbar
Operating Temperature Range:15 to 40°C
Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
Le pouvoir:11.4 à 25.2 V
Gamme:0.5 à 10,10,8 à 32,5 à 85,9 à 150 l/min
Précision sur toute l'étendue:x±1%(<50% de l'étendue)
Plage de débit:0 ~ 2000... 6000
Précision:± 2,0+0,5 FS) %
Taux de réduction:> 100:1
À utiliser avec:Gaz sec
Gamme:+/- 200 cm/min
Précision:0.35 %
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
Dérive de sortie au point zéro:+30 mV
Dérive de la production:+0,12 %/oC
Énergie de fonctionnement:8 à 18VDc, 100 mA